Nguyên lý cơ bản của máy quang phổ XRF
Huỳnh quang tia X (XRF) là một kỹ thuật phân tích có thể được sử dụng để xác định thành phần hóa học của nhiều loại mẫu, bao gồm chất rắn, chất lỏng, bùn và bột lỏng. Huỳnh quang tia X cũng được sử dụng để xác định độ dày và thành phần của sự phân tách và lớp phủ.